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18913268389湯生
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在真空條件下,利用氣體放電使氣體或蒸發物質離化,在氣體離子或被蒸發物質離子轟擊作用的同時,把蒸發物或其反應物蒸斷在 基片上。離子鍛把輝光放電、等離子體技術與真空蒸發鍛膜技術結合在一起。
01、原理
真空離子鏡膜是真空蒸發和真空濺射鍛膜結合的一種鍛膜技術。離子鍛的過程是在真空條件下, 利用氣體放電使工作氣體或被蒸發物質(膜材)部分離化, 在工作氣體離子或者被蒸發物質的離子轟擊作用下,把蒸發物質或其反應物沉積在被錦基片表面的過程。
02、特點
( 1 ) 鋪層附著性能好,膜層不易脫落
( 2 ) 繞鍛性好,改善了表面的覆蓋度
( 3 ) 斷層質量好
( 4 ) 沉積速率高,成膜速度快
( 5 ) 錦膜所適用的基體材料與膜材范圍廣。
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